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专利摘要

本发明涉及半导体器件的技术领域，公开了一种微型片转移装置和微型片转移方法，微型片转移装置包括用于转移微型片的触头以及用于驱动所述触头调整位姿的探针，所述触头采用透明材料制成，所述探针与所述触头偏置，且所述探针与所述触头固定连接或一体成型。本发明提供的微型片转移装置能够为操作人员使用显微镜从上方观察提供有利条件，从而提高微型片转移操作的精确度。 ......

基本信息

专利类型:
发明专利
申请/专利号:
CN202211111144.5
申请日期:
2022-09-13
专利申请人:
["深圳清华大学研究院","清华大学"]
分类号:
B65G47/74; B65G47/90
发明/设计人:
杨鼎麟，聂锦辉，郑泉水
权利要求: 1.一种微型片转移装置，其特征在于，包括：用于转移微型片的触头(1)，所述触头(1)采用透明材料制成；用于驱动所述触头(1)调整位姿的探针(3)，所述探针(3)与所述触头(1)偏置，且所述探针(3)与所述触头(1)固定连接或一体成型。2.根据权利要求1所述的微型片转移装置，其特征在于，所述触头(1)的底部具有用于粘取微型片的粘取部，所述粘取部采用具有吸附力的弹性透明材料制成。3.根据权利要求2所述的微型片转移装置，其特征在于，所述粘取部朝向所述微型片的一面为平面或弧形面。4.根据权利要求3所述的微型片转移装置，其特征在于，所述粘取部的形状为半球体，所述半球体的弧形面朝向所述微型片。5.根据权利要求2所述的微型片转移装置，其特征在于，所述粘取部朝向所述微型片的一侧面的面积大于100μm2，且小于100mm2。6.根据权利要求1所述的微型片转移装置，其特征在于，还包括连接件(2)，所述探针(3)与所述触头(1)通过所述连接件(2)固定连接。7.根据权利要求6所述的微型片转移装置，其特征在于，所述连接件(2)与所述探针(3)可拆卸连接。8.根据权利要求1所述的微型片转移装置，其特征在于，还包括用于驱动所述触头(1)水平位移或竖直转动的转移驱动机构。9.根据权利要求8所述的微型片转移装置，其特征在于，所述转移驱动机构包括伸缩杆(4)和用于控制所述伸缩杆(4)伸缩的控制件(5)，所述伸缩杆(4)与所述探针(3)通过铰链(6)铰接，所述伸缩杆(4)与所述探针(3)之间的夹角由所述铰链(6)控制。10.根据权利要求9所述的微型片转移装置，其特征在于，所述铰链(6)采用电动执行铰链。11.一种微型片转移方法，其特征在于，采用显微镜(20)和如权利要求1-10任一项所述的微型片转移装置，所述显微镜(20)位于所述微型片转移装置的正上方，所述微型片转移方法包括以下步骤：微型片位于所述显微镜(20)的正下方，驱动所述触头(1)至所述微型片和所述显微镜(20)之间；所述探针(3)控制所述触头(1)移动粘取一个或多个待转移微型片；所述探针(3)控制所述触头(1)移动至目标基底(10)，利用范德华力将所述触头(1)上的待转移微型片置于所述目标基底(10)。12.根据权利要求11所述的微型片转移方法，其特征在于，所述粘取部的形状为弧形面、半球体或球体，所述探针(3)控制所述触头(1)旋转粘取一个或多个待转移微型片。