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专利摘要

本申请公开了一种微型块移动组件和制作方法，该组件包括移动部件，移动部件包括：透明基板；位于透明基板表面、用于与微型块阵列接触的透明接触体，透明接触体背离透明基板的表面为平面状，且透明接触体兼具柔性和刚性。由于移动部件为透明的，在推动时可清晰的观察到微型块的运动情况和自回复情况，有利于微型块自回复的判断；由于透明接触体背离透明基板的表面为平面状，面积大，可以同时对多个微型块进行推动和转移，提升推动、转移和自回复判断的效率，同时增加微型块受力均匀性，避免出现锁死的情况，以及增加与微型块之间的粘附力，提升转岛成功率；另外透明接触体兼具柔性和刚性，避免对微型块造成损伤，同时保证推动和转移的顺利进行。 ......

基本信息

专利类型:
发明专利
申请/专利号:
CN202111073946.7
申请日期:
2021-09-14
专利申请人:
["深圳清华大学研究院","清华大学"]
分类号:
B81C1/00
发明/设计人:
杨鼎麟，瞿苍宇，聂锦辉，马明，郑泉水
权利要求: 1.一种微型块移动组件，其特征在于，包括移动部件，所述移动部件包括：透明基板；位于所述透明基板表面、用于与微型块阵列接触的透明接触体，所述透明接触体背离所述透明基板的表面为平面状，且所述透明接触体兼具柔性和刚性。2.如权利要求1所述的微型块移动组件，其特征在于，所述透明接触体为一体化接触体。3.如权利要求1所述的微型块移动组件，其特征在于，所述透明接触体包括多个层叠的透明接触单元体，且在远离所述透明基板的方向上，所述透明接触单元体的体积依次减小。4.如权利要求1所述的微型块移动组件，其特征在于，还包括：位移台，用于调整目标基底和微型块阵列的位移以及当所述透明接触体与微型块阵列接触时，在微型块层间施加剪切力。5.如权利要求1所述的微型块移动组件，其特征在于，还包括：三维位移架，用于调整所述透明接触体的位移。6.如权利要求1至5任一项所述的微型块移动组件，其特征在于，还包括：转角位移台，用于调整目标基底与转移的微型块或微型块阵列之间的相对转角。7.一种微型块移动组件的制作方法，其特征在于，包括：准备透明基板；在所述透明基板的表面滴加透明液体，固化所述透明液体并使固化后透明液体背离所述透明基板的表面为平面状，得到透明接触体，其中，所述透明接触体兼具柔性和刚性。8.如权利要求7所述的微型块移动组件的制作方法，其特征在于，在所述透明基板的表面滴加透明液体，固化所述透明液体并使固化后透明液体背离所述透明基板的表面为平面状包括：步骤S11：以所述透明基板作为承载体，在所述承载体上滴加所述透明液体，并固化所述透明液体，形成透明接触单元体；步骤S12：以所述透明接触单元体作为新的承载体，并返回步骤S11，直至所述透明接触单元体的数量达到预设阈值，且后一个所述透明接触单元体的体积小于前一个所述透明接触单元体的体积；步骤S13：倒置所述透明基板使所述透明接触单元体竖直向下移动，使最后形成的所述透明接触单元体与预置基板接触，直至最后形成的所述透明接触单元体发生塑性变形且接触面为平面。9.如权利要求8所述的微型块移动组件的制作方法，其特征在于，所述预置基板为透明基板。10.如权利要求7所述的微型块移动组件的制作方法，其特征在于，在所述透明基板的表面滴加透明液体，固化所述透明液体并使固化后透明液体背离所述透明基板的表面为平面状包括：在所述透明基板上滴加所述透明液体，并使用预置基板与所述透明液体水平接触；固化所述透明液体，并移走所述预置基板。11.如权利要求7所述的微型块移动组件的制作方法，其特征在于，在所述透明基板的表面滴加透明液体之前，还包括：在所述透明基板上设置相对的支撑体；相应的，在所述透明基板的表面滴加透明液体包括：所述透明基板的表面且在所述支撑体之间滴加透明液体。