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专利摘要

本实用新型涉及半导体器件的技术领域，公开了一种可测力的微型片转移装置，包括：用于转移微型片的触头；用于驱动所述触头调整位姿的探针，且所述探针与所述触头固定连接或一体成型；以及用于检测所述触头受力的力传感器，所述力传感器与所述探针相连接。本实用新型提供的可测力的微型片转移装置能够实时检测触头粘取微型片的力度，以便及时调整触头的进给量，避免损坏触头或微型片。 ......

基本信息

专利类型:
发明专利
申请/专利号:
CN202222419427.8
申请日期:
2022-09-13
专利申请人:
["深圳清华大学研究院","清华大学"]
分类号:
G01L5/16
发明/设计人:
杨鼎麟，聂锦辉，郑泉水
权利要求: 1.一种可测力的微型片转移装置，其特征在于，包括：用于转移微型片的触头(1)；用于驱动所述触头(1)调整位姿的探针(3)，且所述探针(3)与所述触头(1)固定连接或一体成型；以及用于检测所述触头(1)受力的力传感器(8)，所述力传感器(8)与所述探针(3)相连接。2.根据权利要求1所述的微型片转移装置，其特征在于，所述力传感器(8)包括法向力传感器(81)和侧向力传感器(82)。3.根据权利要求1所述的微型片转移装置，其特征在于，所述触头(1)采用透明材料制成，所述探针(3)与所述触头(1)偏置设置。4.根据权利要求1所述的微型片转移装置，其特征在于，还包括连接件(2)，所述探针(3)与所述触头(1)通过所述连接件(2)固定连接。5.根据权利要求4所述的微型片转移装置，其特征在于，所述连接件(2)与所述探针(3)可拆卸连接。6.根据权利要求1所述的微型片转移装置，其特征在于，所述触头(1)的底部设置有用于粘取微型片的粘取部，所述粘取部采用具有吸附力的弹性透明材料制成。7.根据权利要求6所述的微型片转移装置，其特征在于，所述粘取部朝向所述微型片的一面为平面或弧形面。8.根据权利要求7所述的微型片转移装置，其特征在于，所述粘取部的形状为半球体，所述半球体的弧形面朝向所述微型片。9.根据权利要求1-8任一项所述的微型片转移装置，其特征在于，还包括用于驱动所述触头(1)水平位移或竖直转动的转移驱动机构。10.根据权利要求9所述的微型片转移装置，其特征在于，所述转移驱动机构包括伸缩杆(4)和用于控制所述伸缩杆(4)伸缩的控制件(5)，所述伸缩杆(4)与所述探针(3)通过铰链(6)铰接，所述伸缩杆(4)与所述探针(3)之间的夹角由所述铰链(6)控制。